本發(fā)明涉及一種工業(yè)廢水深度脫總氮處理工藝，包括以下步驟：1)工業(yè)廢水經(jīng)過混合器后進(jìn)入前置反硝化接觸池，池內(nèi)需要均勻布水，同時池內(nèi)部設(shè)組合填料；2)步驟1)中的廢水進(jìn)入碳氧化硝化濾池，池內(nèi)裝有曝氣裝置，濾池內(nèi)設(shè)置有生物陶粒填料層；3)根據(jù)步驟2)中反應(yīng)出水選擇回流比例，廢水回流至步驟1)，與所述工業(yè)廢水混合進(jìn)行初步脫總氮，剩余廢水進(jìn)入后置反硝化濾池；4)后置反硝化濾池內(nèi)設(shè)置有生物陶粒填料層，添加外加碳源；5)步驟4)的出水進(jìn)入過濾池處置；6)步驟5)出水進(jìn)入到臭氧催化氧化池，選擇性啟動。本發(fā)明還涉及一種用于上述處理工藝的脫氮裝置，能夠有效解決工業(yè)廢水中的深度脫氮問題。