本發(fā)明涉及一種用于處理難降解工業(yè)廢水的三段式臭氧催化氧化裝置及其使用方法，包括反應(yīng)器主體，反應(yīng)器主體自上而下設(shè)置有紫外臭氧氧化區(qū)、臭氧催化氧化區(qū)、臭氧氧化區(qū)；反應(yīng)器主體中各個(gè)相鄰區(qū)之間相互連通且設(shè)置有承托層隔開(kāi)；每個(gè)承托層的上面均設(shè)置有催化劑；反應(yīng)器主體的臭氧氧化區(qū)上連接有進(jìn)水口；反應(yīng)器主體的紫外臭氧氧化區(qū)上連接有出水口和排氣口；紫外臭氧氧化區(qū)、臭氧催化氧化區(qū)、臭氧氧化區(qū)均設(shè)置有鈦曝氣盤(pán)；紫外臭氧氧化區(qū)中設(shè)置有紫外燈。其具有結(jié)構(gòu)合理、設(shè)計(jì)新穎、操作使用方便、維護(hù)成本低、運(yùn)行可靠穩(wěn)定、自動(dòng)化程度相對(duì)較高的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)還能夠有效解決難降解工業(yè)廢水處理中臭氧氧化率低、出水不夠穩(wěn)定等缺陷。