本實用新型涉及廢水處理裝置技術領域，且公開了一種廢水循環(huán)回用工業(yè)超純水的處理裝置，包括沉淀箱、化學沉淀箱、殺菌箱、煮沸箱，所述沉淀箱的一側連接安裝有化學沉淀箱，所述化學沉淀箱的一側連接安裝有殺菌箱，本裝置通過設計四種過濾、提純方式，使廢水得到高效的凈化處理，沉淀箱將廢水中的油漬進行回收，化學沉淀箱對廢水進行化學處理，殺菌箱對廢水進行殺菌以及漂白處理，通過凈化管對廢水再次進行提純凈化，最終有煮沸箱對凈化過的水進行高溫消菌殺毒，從而達到高效處理的目的，本裝置整體結構簡單，通過各個功效的處理箱通過連接管進行連接，且化學藥品罐和殺菌藥罐具有定量投入藥品的能力，使用十分簡單。