本發(fā)明公開了一種硅片生產(chǎn)過程中含氟廢水的處理方法，其特征在于，采用石灰中和—絮凝沉降—反滲透濃縮的方式對(duì)含氟廢水進(jìn)行處理；所述石灰中和中的石灰加入量與廢水重量比為1 : 150～250，所述石灰為氧化鈣或氫氧化鈣；所述絮凝沉降采用除氟絮凝劑沉降，所述反滲透濃縮采用芳香聚酰胺卷式反滲透膜，在壓力為0.5Mpa～1Mpa、溫度為40℃～50℃條件下處理。本發(fā)明對(duì)F—廢水處理效果好、能耗小、成本低，且工藝操作簡(jiǎn)單，重復(fù)性和均勻性好，易于推廣。