本發(fā)明公開了一種采用臭氧催化氧化處理廢水的工藝，所述處理工藝為廢水與臭氧混合進入反應器，按照物料流動方向，反應器內依次設置復合材料A和催化劑，其中，所述復合材料A以活性炭為核、以無定形硅鋁為殼，催化劑為貴金屬催化劑。所述廢水處理工藝采用級配方法，可以在保證COD去除效果的基礎上，降低催化劑中的金屬流失，確保出水金屬濃度達標，并可以延長催化劑使用壽命。