本實用新型屬于廢水處理領(lǐng)域，其公開了一種基于臭氧的廢水處理設(shè)備，所述處理設(shè)備包括豎流腔室、設(shè)置在豎流腔室底部的排水模塊、設(shè)置在豎流腔室上部的布水模塊、設(shè)置在排水模塊上方的微納米氣泡發(fā)生模塊、設(shè)置在布水模塊下方的填料層，以及設(shè)置在豎流腔室頂部的刮渣模塊，所述工藝具體為：將含有固體懸浮物的污水從布水模塊注入，水力負荷為2?12立方米/平方米.小時，絮凝物經(jīng)過刮渣模塊刮除，凈水經(jīng)過排水模塊排出。該設(shè)備可以提高對于懸浮物的處理效果，同時，通過對于填料層的高度設(shè)置優(yōu)選設(shè)計，使微納米氣泡在合適的高度爆破，來對填料層進行清理，保持填料層的活性。