本實(shí)用新型公開(kāi)一種利用氯硅烷殘液制備超細(xì)二氧化硅的裝置，屬于氯硅烷殘液處理并回收利用的技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型所述裝置中殘液儲(chǔ)罐與管道過(guò)濾器連通，管道過(guò)濾器與水解塔連通，水解塔與中間收集槽連通，中間收集槽的下端與過(guò)濾器通過(guò)渣漿泵連通，過(guò)濾器與鹽酸儲(chǔ)槽連通，過(guò)濾器與洗滌液中間槽連通；鹽酸儲(chǔ)槽、洗滌液中間槽分別通過(guò)泵與靜態(tài)混合器連通，靜態(tài)混合器與熱交換器連通，熱交換器與水解塔連通，中間收集槽、水解塔與安全液封罐連通，過(guò)濾器的下端與干燥系統(tǒng)1連接。本實(shí)用新型所述裝置減少了工業(yè)水的用量，沒(méi)有廢水的產(chǎn)生，減少了環(huán)境污染，降低了殘液的處理成本。