本發(fā)明提供了一種銀鈀銦靶材廢料提純?cè)偕y鈀的方法，屬于金屬分離回收領(lǐng)域。本發(fā)明進(jìn)行真空蒸餾以使銀鈀銦靶材廢料熔化并使銦氣化，剩余熔體即為銀鈀合金。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明不需進(jìn)行酸浸，沒有廢酸和廢水產(chǎn)生，工藝簡(jiǎn)單、快速高效、設(shè)備投入低，能使所得銀鈀合金中銦的質(zhì)量含量降到非常低，如30ppm以下，可以將其繼續(xù)用于加工銀鈀銅鍺、銀鈀銅等靶材，并且整個(gè)過程中，銀鈀損失率非常低，如達(dá)到小于0.6％。