本申請公開一種超低氯高純二氧化鍺的制備方法，包括以下步驟：步驟一，選料：選國標(biāo)高純二氧化鍺為原料；步驟二，煅燒：將國標(biāo)高純二氧化鍺裝入石英料盤中，放入高溫煅燒爐內(nèi)煅燒，煅燒12h～48h，得到二氧化鍺粉體；步驟三，研磨過篩：把步驟二煅燒后的二氧化鍺粉體冷卻至室溫，經(jīng)研磨，過100目篩，得到超低氯高純二氧化鍺。本公開的超低氯高純二氧化鍺的制備方法，氯含量低，其工藝簡單，流程短，直收率高，無廢水排放，對環(huán)境友好，生產(chǎn)成本低，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，安全可靠。