本發(fā)明屬于化工生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種全氟烷基乙基烷氧基硅烷生產(chǎn)裝置及其控制方法，所述全氟烷基乙基烷氧基硅烷生產(chǎn)裝置中飽和醇計量槽與反應(yīng)釜連接，反應(yīng)釜上端分別與硅烷計量槽和尾氣吸收塔；硅烷計量槽與全氟烷基乙基三氯硅烷罐連接，尾氣吸收塔與尾氣塔循環(huán)泵連接；反應(yīng)釜與蒸餾釜連接，蒸餾釜與冷凝器連接；飽和醇計量槽通過管道與氟烯烴罐連接，尾氣塔循環(huán)泵與廢水收集池連接管連接，冷凝器與收料儲槽連接管連接；反應(yīng)釜設(shè)置有夾套，配帶調(diào)節(jié)閥的蒸汽加熱管線和疏水管線；反應(yīng)釜上方設(shè)置有壓力檢測器；反應(yīng)釜上方各設(shè)置1個溫度檢測器，插入中下部。本發(fā)明工藝簡單，穩(wěn)定可靠，得率高，成本較低等特點。