本發(fā)明涉及一種二氟乙烷生產(chǎn)中廢催化劑的處理方法和裝置。所述處理方法包括：(1)將廢催化劑進(jìn)行高溫?zé)o氧熱解，所產(chǎn)生的氣體冷卻降至120℃以下，過濾，冷凝，得到液相氟化氫；未冷凝的氣相洗滌后燃燒排放；(2)所述液相氟化氫進(jìn)一步精餾，得到無水氟化氫；(3)所述高溫?zé)o氧熱解產(chǎn)生的廢渣連續(xù)或間歇排出。本發(fā)明的處理方法用于二氟乙烷生產(chǎn)中廢催化劑的處理及回收無水氟化氫可以最大程度回收無水氟化氫，減少廢水排放，使廢催化劑徹底無害化。