本實(shí)用新型涉及一種硅烷類合成尾氣回收裝置，其包括進(jìn)氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機(jī)、第二冷凝器以及進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐；其中，所述進(jìn)氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機(jī)、第二冷凝器、進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐和合成爐依次通過管道連接；所述進(jìn)氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設(shè)有一自動(dòng)調(diào)節(jié)閥。本實(shí)用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置具有結(jié)構(gòu)簡單、成本低、穩(wěn)定可靠且不會(huì)產(chǎn)生新的廢水等諸多優(yōu)點(diǎn)。