本發(fā)明公開了一種氟化硅氧烷廢液資源化處理方法，包括以下步驟：(1)廢液水解：將氟化硅氧烷廢液和堿液反應，分離，得水解產物和廢堿液；(2)催化重排：水解產物催化反應，減壓蒸餾，得二甲基硅氧烷混合環(huán)體；(3)廢堿液再生：廢堿液中加入固體堿，過濾，得氟化鹽和再生堿液；(4)堿液循環(huán)利用：再生堿液作為水解用堿液進行循環(huán)利用。本發(fā)明氟化硅氧烷廢液處理方法工藝簡單，將廢液轉化為有機硅工業(yè)的基礎原料(二甲基硅氧烷混合環(huán)體)，實現(xiàn)了廢液資源化處理及廢液循環(huán)利用。