本發(fā)明公開了三甲硅烷基胺的制備方法及系統(tǒng)，包括如下內容：將N2、H2、SiClxH4?x的混合氣體在電磁場作用下反應，0≤x≤2。本發(fā)明實現(xiàn)了氮氣與氫氣的非熱等離子體與氯硅烷的高效反應，在低溫低壓條件下成功制得三甲硅烷基胺，條件溫和，安全性高；且無固體副產(chǎn)物生產(chǎn)，產(chǎn)物分離難度小，無需固廢處理，工藝簡單，可操作性強，有利于大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)。