本實(shí)用新型公開了一種四氯化硅產(chǎn)品罐尾氣回收裝置，包括罐式集裝箱，還包括與罐式集裝箱通過管路連通的尾氣收集罐，尾氣收集罐設(shè)有尾氣出口，尾氣出口連接的管路分為兩路，一路與淋洗塔連接，另一路經(jīng)過壓縮機(jī)與緩沖罐連接。本實(shí)用新型尾氣回收裝置將罐式集裝箱內(nèi)尾氣儲存在尾氣收集罐，一部分尾氣通過緩沖罐補(bǔ)充到原料罐，平衡原料罐內(nèi)壓力，尾氣得到利用，另一部分尾氣通入淋洗塔進(jìn)行處理，可以減少淋洗塔內(nèi)尾氣的處理量，同時減少堿水的消耗量和固廢的回收處理成本。