本發(fā)明公開了一種單晶硅外延片生產(chǎn)用廢氣處理系統(tǒng)，包括儲(chǔ)氣罐、吸附池、燃燒室、暫存罐和分離罐，儲(chǔ)氣罐的側(cè)壁上連接有排廢管和排氣管，排氣管上連接有曝氣管，且曝氣管置于吸附池內(nèi)，吸附池內(nèi)裝有用于吸附氨氣的溶液，吸附池連接有氨氣提純裝置，吸附池上設(shè)有燃燒室，儲(chǔ)氣罐安裝有與燃燒室連通的液體過濾裝置，吸附池內(nèi)還設(shè)有伸入燃燒室的氫氣傳送管，燃燒室一側(cè)依次連接有暫存罐和分離罐，分離罐內(nèi)設(shè)有過濾機(jī)構(gòu)。本發(fā)明可提高氨氣回收的純度，通過燃燒室可燃燒多余的氫氣，利用氫氣提高燃燒室的溫度，同時(shí)利用高溫燃燒三甲基鎵，使三甲基鎵燃燒，然后對(duì)燃燒后的氣體進(jìn)行處理，以防止三甲基鎵直接排放造成的危害。