本發(fā)明涉及廢氣處理技術領域，提供了一種用于六氟化硫檢測尾氣的凈化處理方法，包括以下步驟：1)六氟化硫檢測尾氣與過量的濃硫酸在室溫下接觸,將尾氣中的還原性組分氧化生成二氧化硫；2)步驟1)處理后的混合氣體再與催化劑作用，將步驟1)生成的二氧化硫及混合氣體中原有二氧化硫經(jīng)催化反應生成三氧化硫；3)將步驟2)處理后的混合氣體與水接觸，所述三氧化硫與水反應生成稀硫酸，將處理后的混合氣體排入大氣或排入回收裝置再利用。本發(fā)明原理簡單，安全性好，特別是實現(xiàn)了所需危害性(腐蝕性)藥劑的循環(huán)回收和利用，具有良好的環(huán)境和經(jīng)濟效益。