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多芯片集成電路封裝工藝段的固化烘烤裝置

864   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 05:47:59
本實(shí)用新型涉及一種多芯片集成電路封裝工藝段的固化烘烤裝置,包括固化爐外箱體,固化爐外箱體頂部設(shè)置可拆卸蓋板,固化爐外箱體與可拆卸蓋板密封裝配,固化爐外箱體內(nèi)部設(shè)置由半導(dǎo)體導(dǎo)熱層板拼接而成梯形承接架,梯形承接架上均勻布設(shè)有散熱微孔,梯形承接架上裝配封裝體承接板;封裝體承接板上均勻布設(shè)有散熱微孔;本實(shí)用新型對固化過程中的溫度進(jìn)行有效控制,提高固化效率,保證封裝質(zhì)量;對固化工藝段排放的廢熱氣體進(jìn)行集中排放,降低對操作人員的危害。
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