用于四氯化硅洗凈塔廢氣進口裝置，設洗凈塔和推渣桿，洗凈塔左下側連接以15?30o傾斜方式插入的四氯化硅廢氣入口管，四氯化硅廢氣入口管外上層連接四氯化硅廢氣管、脈沖清洗裝置、左端連接清理裝置支管，清理裝置支管連接支管盲板；打開四氯化硅四氯化硅廢氣管線入口閥門，95％以上四氯化硅廢氣密度比空氣大而進入洗凈塔進行中和；打開脈沖清洗裝置閥門，以氮氣對四氯化硅廢氣入口管進行吹掃，吹掃時間持續(xù)5秒，可將廢氣入口管的微量殘留吹掃沖洗干凈；如大量廢氣排入廢氣管道，或者脈沖清洗裝置無法工作，作業(yè)人員可以用推渣桿進行手動清理；本技術的有益效果是：提高設備使用效率，降低對人身以及環(huán)境的危害。