提供一種用于多晶硅生產中含二氯二氫硅廢液的回收利用裝置，包括廢液儲罐、高低沸處理精餾塔、脫輕精餾塔、四氯化硅提純塔、混合器以及反歧化裝置，廢液儲罐通過廢液輸送泵與高低沸處理精餾塔連接，高低沸處理精餾塔塔頂與脫輕精餾塔連接，脫輕精餾塔塔頂通過二氯二氫硅輸送泵與混合器連接，高低沸處理精餾塔塔釜與四氯化硅提純塔連接，四氯化硅提純塔塔頂通過四氯化硅輸送泵與混合器連接，混合器與反歧化裝置連接，反歧化裝置與廢液儲罐連接。本實用新型能夠對多晶硅生產的廢液中的二氯二氫硅循環(huán)回收轉化，有效減少由于廢液外排而造成的價值損失，提高了物質的回收利用率，降低廢液處理的危險性，本實用新型能量消耗少，設備數(shù)量少，制造成本低。