本實用新型提供一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)，通過設(shè)置進料管線和卸料管線，并借助真空泵，將三氯氫硅合成爐內(nèi)的廢硅粉輸送至分離器中，一方面，實現(xiàn)了廢硅粉的封閉式回收，避免了硅粉與空氣中氧氣和水分接觸，保證的硅粉的活性，也降低了閃爆的危險，提高安全性；另一方面，降低人工勞動強度，保護了職工身體健康；通過分離器對廢硅粉中的大顆粒的硅粉與小顆粒的硅塵進行分離，將大顆粒的硅粉輸回收至三氯氫硅合成爐內(nèi)，避免將失去活性的小顆粒硅塵帶入三氯氫硅合成爐內(nèi)，能夠延長三氯氫硅合成爐的檢修周期；該廢硅粉回收系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，易于操作。