一種三氯氫硅合成爐廢硅粉回收方法，包括合成爐和硅粉收集罐，具體操作步驟包括，A、在合成爐正常停車后，對合成爐進(jìn)行置換；B、在置換合格后，將合成爐底部硅粉泄放閥與硅粉收集罐通過金屬軟管進(jìn)行相連，通過氮?dú)膺M(jìn)口管線向合成爐通入氮?dú)?；C、打開硅粉泄放閥，氮?dú)膺B同硅粉被帶入硅粉收集罐，氮?dú)馔ㄟ^硅粉收集罐頂部布袋過濾器被放空，使硅粉被收集到硅粉收集罐內(nèi)，實(shí)現(xiàn)了硅粉的全部回收使用。本發(fā)明的有益效果如下：本方法工藝簡單，工藝條件易于實(shí)現(xiàn)，且操作方便；再生產(chǎn)中可以將合成爐內(nèi)廢舊硅粉全部回收再使用，同時(shí)回收時(shí)不會(huì)對人員身體產(chǎn)生粉塵危害。本發(fā)明同時(shí)公開了三氯氫硅合成爐廢硅粉回收裝置。