本發(fā)明涉及一種超高純石英及其制備方法。該制備方法包括依次進行的石英預處理、表面雜質清洗、表面缺陷增加、石英晶格金屬雜質的擴散偏聚及表面雜質偏聚區(qū)剝蝕步驟；石英晶格金屬雜質的擴散偏聚步驟采用焙燒進行處理，表面雜質偏聚區(qū)剝蝕步驟采用氫氧化鈉進行處理。該制備方法并未使用氫氟酸、氯氣、氟化氫氣體等對環(huán)境不友好或危險性高的物質，對環(huán)境友好；且鹽酸浸出步驟和氫氧化鈉浸出步驟產生的廢液可以互相中和，可極大程度地減少石英工業(yè)廢水處理成本。