本發(fā)明公開了一種太陽能電池硅片的清洗方法，包括步驟：采用臭氧水溶液對(duì)硅片進(jìn)行浸泡清洗，使硅片表面產(chǎn)生氧化層；采用氫氟酸溶液對(duì)硅片進(jìn)行表面腐蝕處理；對(duì)硅片進(jìn)行漂洗。本發(fā)明清洗方法先以臭氧水溶液對(duì)硅片進(jìn)行浸泡清洗，能夠有效地氧化硅片表面沾污的有機(jī)物污質(zhì)，并氧化硅片表面形成氧化膜；然后通過氫氟酸溶液對(duì)硅片進(jìn)行腐蝕清洗，去除表面的金屬污質(zhì)，并腐蝕掉表面的氧化膜，在腐蝕掉表面氧化膜的同時(shí)去除了表面污質(zhì)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片表面的清洗。本發(fā)明清洗方法中采用臭氧水溶液，臭氧水溶液與表面有機(jī)物污質(zhì)反應(yīng)產(chǎn)生CO2和H2O，對(duì)人體無危害性，且臭氧水溶液產(chǎn)生的廢液對(duì)環(huán)境污染小，不需要進(jìn)行特殊處理。