本實(shí)用新型公開了一種電子級(jí)高純氯化氫制備裝置，包括原料氣源、第一氣體壓縮輸送設(shè)備、干燥器、第二氣體壓縮輸送設(shè)備、脫輕精餾塔、脫重精餾塔、成品罐以及回收精餾塔。本實(shí)用新型公開的電子級(jí)高純氯化氫制備裝置，變廢為寶，沒有造成新的污染，減輕了環(huán)保壓力，提高經(jīng)濟(jì)效益，與合成法比較，安全性提高，不會(huì)造成爆炸危險(xiǎn)；與脫水法比較，安全性提高，環(huán)保壓力大大降低，設(shè)備建設(shè)要求降低，行政風(fēng)險(xiǎn)降低；與復(fù)分解法比較，除安全性和環(huán)保壓力提升外，后續(xù)處理難度降低，有利于產(chǎn)品的純化和收益率提高，競(jìng)爭(zhēng)力提高。