本實用新型公開了一種PVD載板清洗機，包括自動清洗設(shè)備、程式控制柜和遠程終端，所述自動清洗設(shè)備包括依次并排設(shè)置第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水噴淋槽、加熱烘干槽，所述第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水噴淋槽、加熱烘干槽上方設(shè)置有行車機構(gòu)和廢氣抽排系統(tǒng)，所述行車機構(gòu)連接一次性承裝多片載板的多片式花籃，所述加熱烘干槽側(cè)面設(shè)置有計算機程控及遠程系統(tǒng)，所述遠程終端通過程式控制柜和計算機程控及遠程系統(tǒng)控制自動清洗設(shè)備。本實用新型通過計算機程序編輯控制準確完成編程中設(shè)定的每道清洗動作及流程，以高度自動化程序取代人員操作，具有穩(wěn)定清洗產(chǎn)能及清洗質(zhì)量，避免人員暴露在危險操作中。