本實用新型公開了一種電子級高純氯化氫制備單元，包括原料氣源、第一氣體壓縮輸送設備、干燥器、第二氣體壓縮輸送設備、脫輕精餾塔、脫重精餾塔、成品罐、回收精餾塔、升壓汽化器以及鋼瓶。本實用新型公開的電子級高純氯化氫制備單元，變廢為寶，沒有造成新的污染，減輕了環(huán)保壓力，提高經濟效益，與合成法比較，安全性提高，不會造成爆炸危險；與脫水法比較，安全性提高，環(huán)保壓力大大降低，設備建設要求降低，行政風險降低；與復分解法比較，除安全性和環(huán)保壓力提升外，后續(xù)處理難度降低，有利于產品的純化和收益率提高，競爭力提高。