1、主要技術(shù)發(fā)明 本技術(shù)在國家自然科學(xué)基金等多項(xiàng)國家、省部級項(xiàng)目的支持下，圍繞復(fù)合離子鍍技術(shù)、高端硬質(zhì)涂層設(shè)計(jì)、綠色制備與應(yīng)用開展關(guān)鍵共性技術(shù)研究，發(fā)明了復(fù)合離子鍍硬質(zhì)涂層技術(shù)及裝備，實(shí)現(xiàn)彎道超越，獲得性能優(yōu)于傳統(tǒng)PVD的硬質(zhì)防護(hù)涂層，解決了我國缺少高端鍍膜裝備和先進(jìn)硬質(zhì)涂層精細(xì)化設(shè)計(jì)的難題。主要技術(shù)發(fā)明有： 1)技術(shù)發(fā)明一、發(fā)明了復(fù)合離子鍍硬質(zhì)涂層技術(shù)。發(fā)明了多離化源耦合增強(qiáng)的復(fù)合離子鍍裝備與技術(shù)，率先構(gòu)建PVD薄膜沉積等離子體探測系統(tǒng)，研究了各種沉積源粒子束流的等離子體特性，建立了沉積等離子體性質(zhì)與涂層結(jié)構(gòu)及性能之間的關(guān)聯(lián);發(fā)明了積等離子體特性-涂層結(jié)構(gòu)、性能聯(lián)控技術(shù);發(fā)明了采用氣體離子和高功率脈沖濺射高能離子轟擊復(fù)合轟擊清洗改善涂層結(jié)合力、梯度和復(fù)合涂層成分設(shè)計(jì)改善涂層性能的新方法;發(fā)明了耦合納米多層和納米復(fù)合結(jié)構(gòu)的多元多層刀具涂層，并取得良好切削應(yīng)用效果。 2)技術(shù)發(fā)明二、發(fā)明了復(fù)合離子鍍制備硬質(zhì)氮化物涂層的新技術(shù)。發(fā)明了納米多層結(jié)構(gòu)抑制涂層軟質(zhì)相生成的新方法，構(gòu)建了共格層間界面的能量模型，發(fā)明了軟質(zhì)相與硬質(zhì)相外延生長的新方法，實(shí)現(xiàn)涂層綜合性能的協(xié)同提升;發(fā)明了電弧-濺射復(fù)合沉積降低氮化物涂層內(nèi)應(yīng)力、實(shí)現(xiàn)涂層性能精細(xì)調(diào)控的新方法;開發(fā)出系列多元多層氮化物刀具涂層并取得應(yīng)用。 3)技術(shù)發(fā)明3、復(fù)合離子鍍制備復(fù)合碳基薄膜新技術(shù)。發(fā)明多源復(fù)合涂層技術(shù)制備低應(yīng)力、低摩擦、高耐蝕碳基薄膜的新方法;發(fā)明了高功率脈沖濺射-電弧復(fù)合技術(shù)制備碳膜，解決了高硬度和低摩擦系數(shù)的矛盾。相關(guān)產(chǎn)品已通過軍工企業(yè)認(rèn)可，成功應(yīng)用于航空件，如直升飛機(jī)轉(zhuǎn)向液壓桿曲柄、折疊翼飛機(jī)折疊機(jī)構(gòu)閥門等，大幅提高了相關(guān)裝備的快速應(yīng)激能力及服役壽命，促進(jìn)了我國的強(qiáng)軍及國防建設(shè)。 2、應(yīng)用領(lǐng)域及效果 經(jīng)濟(jì)效益：基于復(fù)合離子鍍硬質(zhì)涂層關(guān)鍵技術(shù)，本技術(shù)所研制相關(guān)涂層刀具產(chǎn)品已在深圳科匯納米技術(shù)有限公司、東莞凌杰精密工具有限公司、株洲歐科億數(shù)控精密刀具有限公司、深圳粵?？萍加邢薰?、寧波江北瑞斯特刀具有限公司、株洲華銳精密工具有限公司、浙江力鋒精密工具有限公司、自貢希力數(shù)控工具有限公司、東莞鳳嵐中機(jī)融耀數(shù)控工具廠等企業(yè)應(yīng)用，相關(guān)涂層刀具產(chǎn)品達(dá)到國際先進(jìn)水平，共計(jì)累計(jì)新增銷售額7.61億元及新增利潤1.51億元，取得了良好的應(yīng)用成果與