用于cvd合成二硫化鉬過程的廢氣處理裝置 技術(shù)領(lǐng)域 1.本實(shí)用新型涉及廢氣凈化技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于cvd合成二硫化鉬過程的廢氣處理裝置。 背景技術(shù)： 2.使用cvd技術(shù)合成二硫化鉬過程中會(huì)產(chǎn)生大量廢氣，其中主要為酸性氣體（hcl和hf）和氮氧化物（nox），若不加以處理就排放，會(huì)對(duì)大氣環(huán)境造成污染，實(shí)驗(yàn)室中制備二硫化鉬時(shí)，廢氣通常使用排氣裝置直接排除，但廢氣中的酸性氣體會(huì)腐蝕排氣管道?，F(xiàn)有的廢氣處理裝置大多為大型生產(chǎn)線服務(wù)，其占地面積大，不易于組裝，不適合實(shí)驗(yàn)室中使用，因此急需一種能便于處理實(shí)驗(yàn)室制備二硫化鉬時(shí)產(chǎn)生廢氣的裝置，以保護(hù)實(shí)驗(yàn)人員的安全，同時(shí)保護(hù)大氣環(huán)境不受污染。 技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素： 3.本實(shí)用新型的目的是為克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于cvd合成二硫化鉬過程的廢氣處理裝置，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理，占地面積小，便于在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)處理廢氣。 4.為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案： 5.用于cvd合成二硫化鉬過程的廢氣處理裝置，包括密封殼體，所述密封殼體為空心長(zhǎng)方體，密封殼體中按照廢氣流向依次連接有一次活性炭過濾器、堿液過濾器組和二次活性炭過濾器，所述堿液過濾器組共設(shè)有順次連接的三個(gè)完全相同的堿液過濾器，一次活性炭過濾器處連接有進(jìn)氣管、二次活性炭過濾器處連接有排氣管，密封殼體的左右兩側(cè)面各開有一個(gè)與進(jìn)氣管和出氣管尺寸匹配的通孔，進(jìn)氣管和排氣管穿過通孔伸出密封殼體。 6.所述進(jìn)氣管和排氣管分別插入一次活性炭過濾器和二次活性炭過濾器，進(jìn)氣管遠(yuǎn)離一次活性炭過濾器的一端固定有橡膠塞，橡膠塞由防腐蝕橡膠制成、且中心設(shè)有供氣體流通的圓形通孔，利用橡膠塞將裝置整體與cvd反應(yīng)裝置尾端連接，并保證無廢氣泄露至環(huán)境中。 7.所述堿液過濾器中裝有濃度為15%?25%的naoh溶液，且堿液過濾器中naoh溶液液位低于堿液過濾器總高度的80%。 8.所述堿液過濾器處設(shè)有攪拌裝置，攪拌裝置包括固定在堿液過濾器頂端的攪拌電機(jī)和與攪拌電機(jī)連接的攪拌槳，攪拌電機(jī)豎向設(shè)置、輸出軸伸向堿液過濾器內(nèi)，攪拌槳為直葉槳、且靠近堿液過濾器底面，增加廢氣通入后與液體的接觸面積。 9.所述堿液過濾器內(nèi)固定有濃度在線監(jiān)測(cè)裝置，濃度在線監(jiān)測(cè)裝置為在線ph計(jì)或在線naoh濃度測(cè)定儀，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)堿液過濾器內(nèi)的naoh溶液濃度。 10.所述密封殼體內(nèi)固定有堿液儲(chǔ)液槽，堿液儲(chǔ)液槽為由