產(chǎn)品介紹

KJ-T1200-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生長爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，是專門為在金屬箔(像銅箔、鋁箔等)上生長薄膜而設計;廣泛應用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究上，特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長。該設備由KJ-1200T管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成 ，最高溫度可以達到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。

產(chǎn)品優(yōu)勢

成品質(zhì)量好

PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點

沉積效果好

等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜

智能多段PID可編程

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 1200℃石墨烯生長爐

產(chǎn)品型號 KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S

管式爐

加熱區(qū)長度 440mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

工作溫度 ≤1100℃

最高溫度 1200℃

爐管尺寸 Φ60×1440mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

等離子射頻電源

輸出功率 5 ～500W ± 1% .

真空泵機組(雙極旋片泵)

真空度 10-3torr

波紋管 KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連.

質(zhì)量流量計

四通道控制 精度0.02% 、數(shù)字顯示、自動控制

水冷系統(tǒng)

水冷法蘭要求 水流量 >= 10L/M ，配有專業(yè)水冷機組