設備介紹

KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S型高溫真空CVD設備由KJ-T1200滑動式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ，最高溫度可以達到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合，可以對多種氣體進行準確的混氣，然后導入到管式爐內(nèi)部。爐管兩端安裝真空法蘭，可以通過選配真空泵組來實現(xiàn)更高的真空度。爐底安裝一對滑軌，可用手動滑動。為取得最快加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端，是低成本快速熱處理的理想爐子。

產(chǎn)品優(yōu)勢

雙層內(nèi)膽爐殼，配有風冷系統(tǒng)，快速升降溫

整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度很高，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺

多晶纖維爐膛，節(jié)能耐腐蝕

重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足何種快速燒結(jié)的要求

微電腦PID控制器，操作簡便

操作簡便，控溫準確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復雜的試驗過程，真正實現(xiàn)自動控制和運行

技術(shù)參數(shù)

結(jié)構(gòu) 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷，用于江堤殼體表面溫度

加熱元件 電阻絲

工作溫度 ≤1100°C

最高溫度 1200°C

最大升溫速率 建議10°C/min

加熱區(qū)長度 400mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

溫控系統(tǒng) 一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR可設置30段升降溫程序。

控溫精度 +/-1°C

爐管材質(zhì)和尺寸 石英管 內(nèi)徑: 72mm x 外徑: 80 mm x 長度:1000 mm

(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

密封法蘭 兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計，和閥門通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr，泄漏率最大6 mtorr/min

真空泵 真空泵：一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內(nèi)通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr

氣體流量計

4個浮子流量計，可同時混入4種不同氣體。

四通道控制 精度0.02% 、數(shù)字顯示、自動控制