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高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)/cvd鍍膜

高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)/cvd鍍膜

247
規(guī)格/型號(hào):KJ-T1500CVD-DZ
品牌:鴻爐機(jī)械
應(yīng)用領(lǐng)域:材料制備
產(chǎn)地:河南 - 鄭州
廠家/供應(yīng)商:河南鴻爐機(jī)械設(shè)備有限公司
咨詢電話::177-3714-9370(請(qǐng)說(shuō)明信息源自“中冶有色網(wǎng)”)
更新時(shí)間:2025-07-29
級(jí)別:待認(rèn)證

高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)/cvd鍍膜說(shuō)明介紹

高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)/cvd鍍膜

設(shè)備介紹

此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)由高溫沉積室、升華室、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成。該CVD高溫管式爐主要用廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

超溫保護(hù)和報(bào)警

有超溫保護(hù)和報(bào)警,及過(guò)熱和熱電偶斷裂保護(hù)功能,允許在無(wú)人值守的情況下運(yùn)行

30段智能PID程序控溫

控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可以達(dá)到±1℃

法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)

有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計(jì)、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈?zhǔn)?

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 定制高溫CVD系統(tǒng)

沉積爐

產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1500CVD-DZ

爐膛模式 開(kāi)啟式

爐膛材料 氧化耐火纖維

加熱元件 U型硅鉬棒

極限溫度 1600℃高溫區(qū)

工作溫度 ≤1500℃高溫區(qū)

升溫速率 ≤10℃/min

加熱溫區(qū) 單溫區(qū)、雙溫區(qū)、多溫區(qū),可根據(jù)需求選擇

溫區(qū)總長(zhǎng)度 200mm、300mm、400mm可選

(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

爐管材質(zhì) 剛玉管

爐管直徑 40mm、50mm、60mm、80mm、100mm可選

(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

密封方式 定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)

底部法蘭有三個(gè)進(jìn)氣口 方便進(jìn)氣

底部法蘭加支架 方便工件放在沉積爐低溫區(qū)

控制模式 每個(gè)溫區(qū)單獨(dú) 30段智能PID程序控溫

溫度曲線 多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)

測(cè)溫元件 B型雙鉑銠熱電偶

供氣系統(tǒng) 集成在控制柜上

氣體通道 可同時(shí)連接多種氣源

流 量 計(jì) 浮子流量計(jì)

A路量程 1L/MIN

B路量程 1L/MIN

C路量程 1L/MIN

氣路壓力 -0.1~0.15 MPa

截止閥 不銹鋼材質(zhì)

氣體連接管 1/4不銹鋼管

氣化爐A、B

最高溫度 700℃

工作溫度 ≤500℃

爐膛尺寸 定制

開(kāi)門方式 上開(kāi)

進(jìn)氣口 一個(gè)進(jìn)氣口

出氣口 一個(gè)出氣口

售后服務(wù) 12個(gè)月質(zhì)保(易耗件及人為損壞除外),終身保修
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