設(shè)備介紹
此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)由高溫沉積室、升華室、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成。該CVD高溫管式爐主要用廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如
碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
超溫保護(hù)和報(bào)警
有超溫保護(hù)和報(bào)警,及過(guò)熱和熱電偶斷裂保護(hù)功能,允許在無(wú)人值守的情況下運(yùn)行
30段智能PID程序控溫
控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可以達(dá)到±1℃
法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)
有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計(jì)、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈?zhǔn)?
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 定制高溫CVD系統(tǒng)
沉積爐
產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1500CVD-DZ
爐膛模式 開(kāi)啟式
加熱元件 U型硅鉬棒
極限溫度 1600℃高溫區(qū)
工作溫度 ≤1500℃高溫區(qū)
升溫速率 ≤10℃/min
加熱溫區(qū) 單溫區(qū)、雙溫區(qū)、多溫區(qū),可根據(jù)需求選擇
溫區(qū)總長(zhǎng)度 200mm、300mm、400mm可選
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
爐管材質(zhì) 剛玉管
爐管直徑 40mm、50mm、60mm、80mm、100mm可選
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
密封方式 定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)
底部法蘭有三個(gè)進(jìn)氣口 方便進(jìn)氣
底部法蘭加支架 方便工件放在沉積爐低溫區(qū)
控制模式 每個(gè)溫區(qū)單獨(dú) 30段智能PID程序控溫
溫度曲線 多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
測(cè)溫元件 B型雙鉑銠熱電偶
供氣系統(tǒng) 集成在控制柜上
氣體通道 可同時(shí)連接多種氣源
流 量 計(jì) 浮子流量計(jì)
A路量程 1L/MIN
B路量程 1L/MIN
C路量程 1L/MIN
氣路壓力 -0.1~0.15 MPa
截止閥 不銹鋼材質(zhì)
氣體連接管 1/4不銹鋼管
氣化爐A、B
最高溫度 700℃
工作溫度 ≤500℃
爐膛尺寸 定制
開(kāi)門方式 上開(kāi)
進(jìn)氣口 一個(gè)進(jìn)氣口
出氣口 一個(gè)出氣口
售后服務(wù) 12個(gè)月質(zhì)保(易耗件及人為損壞除外),終身保修