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高溫CVD系統(tǒng)

高溫CVD系統(tǒng)

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規(guī)格/型號：KJ-T1600
品牌：鴻爐機械
應用領域：材料制備
產地：河南 - 鄭州
廠家/供應商：河南鴻爐機械設備有限公司
咨詢電話:：17737149370（請說明信息源自“中冶有色網”）
更新時間：2025-07-30
級別：待認證

高溫CVD系統(tǒng)說明介紹

高溫CVD系統(tǒng)

設備介紹

該高溫CVD管式爐工作溫度為300℃至1600℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用溫度控制系統(tǒng)，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，出色的隔熱效果和溫度均勻性。本系列CVD化學沉積系統(tǒng)主要用于真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環(huán)境。適用于大學，研究中心和生產企業(yè)進行氣相沉積相關的實驗與生產。

產品優(yōu)勢

智能溫控

可控硅自動控溫，移相觸發(fā)，30段可編程PID智能控制

安全防燙

雙層爐殼結構，裝有風冷系統(tǒng)用于降低殼體表面溫度，保證了操作人員的安全。

結構合理

304不銹鋼雙層密封法蘭，兩端可調節(jié)法蘭支撐結構，延長爐管使用壽命

超溫保護及預警

過熱和斷偶保護，超溫保護蜂鳴器警報

耐腐蝕石英管

爐管采用高純石英，耐高溫耐酸堿，透明爐管可更好觀察樣品反應情況

技術參數(shù)

產品名稱 高溫CVD系統(tǒng)

產品型號 KJ-T1600

結構 碳鋼外殼

雙層氧化鋁纖維板

1600度氧化鋁纖維板

1800度氧化鋁纖維板

冷卻風扇

爐管 剛玉管OD.80mm×Len.1000-1200mm

外徑80mmx長度1000-1200mm

(其他尺寸可按客戶需求定制)

密封 帶膠圈法蘭(帶有指針式壓力表)

加熱區(qū)長度 440mm (其他尺寸可按客戶需求定制)

工作溫度 ≤1600℃

溫度傳感器 B型熱電偶

溫度控制 可控硅自動控溫

移相觸發(fā)

30段可編程PID智能控制，過熱和斷偶保護

超溫保護蜂鳴器警報

加熱速率 建議：≤10℃/min

控溫精度 +/-1℃

加熱元件 硅鉬棒

真空計

顯示 數(shù)字顯示

帶測量單位Torr

真空泵

極限真空度 3pa
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所屬領域：
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