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六通道PECVD設(shè)備

六通道PECVD設(shè)備

182
規(guī)格/型號：KJ-PECVD-LM
品牌：鴻爐機(jī)械
應(yīng)用領(lǐng)域：材料制備
產(chǎn)地：河南 - 鄭州
廠家/供應(yīng)商：河南鴻爐機(jī)械設(shè)備有限公司
咨詢電話:：17737149370（請說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”）
更新時間：2025-07-30
級別：待認(rèn)證

六通道PECVD設(shè)備說明介紹

六通道PECVD設(shè)備

設(shè)備介紹

該pecvd設(shè)備是由管式爐真空泵和六通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)組成的。它可以混合1-6種氣體用于PECVD或擴(kuò)散。該P(yáng)ECVD管式爐通過射頻電源將石英真空室中的氣體改變?yōu)殡x子狀態(tài)，等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復(fù)合薄膜、石墨烯等的生長。

產(chǎn)品優(yōu)勢

更好的沉積效率

PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性

所需溫度更低

PECVD對于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

成品質(zhì)量好

具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)

技術(shù)參數(shù)

型號 KJ-PECVD-LM

管式爐部分

Display 觸摸屏

連續(xù)工作溫度.

≤1100℃第一溫區(qū)

≤1100℃第二溫區(qū)

≤1600℃第三溫區(qū)

升溫速率 建議: 0~10℃/min

溫區(qū) 220mm+220mm+220mm

(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

加熱元件 硅碳棒和硅鉬棒

熱電偶 N型和B型

溫度控制精度 ±1℃

爐管尺寸 直徑:80 *長度:1600mm

(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

材料：氧化鋁管

溫度控制 通過SCR功率控制的PID自動控制

傾斜功能 0-15度

(不建議在1100C溫度下使用傾斜功能，因?yàn)楣桡f棒加熱元件可能容易損壞。高溫時會變軟，請注意。)

加熱曲線 30步可編程

真空法蘭

帶閥門的不銹鋼真空法蘭

右側(cè)法蘭為滑動式。

法蘭應(yīng)為水冷式。

等離子射頻

功率范圍 0-300W(連續(xù)可調(diào))

控制模式 手動

工作頻率 13.56MHz

報警保護(hù) 直流過載保護(hù)、直流/放大器過熱保護(hù)、反射功率保護(hù)、匹配超時保護(hù)

射頻輸出阻抗接口(50Ω) N型

功率穩(wěn)定性 ≤ 1 W

最大反射功率 200 W

真空泵系統(tǒng)

分子泵系統(tǒng) 極限真空：6.7*10-3Pa。包括數(shù)字真空計

質(zhì)量流量計(LCD觸摸屏) 六個精密質(zhì)量流量計：MFC精度為：±1.5%F.S。

17MHZ超聲波霧化

配超聲波霧化器，液體可霧化成液體顆粒并引入管式爐。

?液體罐標(biāo)配不銹鋼，并用氟橡膠密封件密封;

?霧化量大小可控制;

液體注入系統(tǒng)

?一套用于自動液體供給的標(biāo)準(zhǔn)液體注入泵

?注射泵配有注射器，用于容納液體;

?注射泵速度可調(diào)節(jié)

水冷卻器 用于冷卻水冷法蘭和真空泵。
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