一種金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置及方法 技術(shù)領(lǐng)域 1.本發(fā)明涉及一種金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置及方法，屬于廢水處理工程技術(shù)領(lǐng)域。 背景技術(shù)： 2.太陽(yáng)能光伏能源作為綠色能源逐漸被廣泛應(yīng)用，但隨之而來(lái)的是太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的廢水污染，其污染物成分復(fù)雜、濃度高，若不能達(dá)標(biāo)排放，將產(chǎn)生不可逆的不良影響。 3.太陽(yáng)能電池生產(chǎn)一般包括制絨、擴(kuò)散制結(jié)、刻蝕、pecvd鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷電極、燒結(jié)等過(guò)程，廢水主要來(lái)自于制絨、刻蝕等環(huán)節(jié)的生產(chǎn)排水以及硅烷燃燒塔、氮氧排洗滌塔的排水，各環(huán)節(jié)產(chǎn)廢性質(zhì)各不相同。由于產(chǎn)能提升和產(chǎn)品升級(jí)需要，生產(chǎn)功能改進(jìn)、技術(shù)更新，產(chǎn)生了含氟、含氨氮的金屬硅化物刻蝕boe廢水。該廢水主要來(lái)源于蝕刻劑，主要污染物為重金屬離子，還有少量f-、nh 3-n、懸浮物等。這部分金屬硅化物boe刻蝕廢水直接外排將嚴(yán)重危害人類(lèi)身體健康。處理得當(dāng)，不僅可以使廢水達(dá)標(biāo)排放，還可以對(duì)廢水進(jìn)行回用，同時(shí)也可將廢水中的有價(jià)金屬回收利用。 4.傳統(tǒng)的重金屬?gòu)U水處理方法包括：化學(xué)沉淀、氧化還原處理、蒸發(fā)濃縮法、離子交換法、吸附法、膜分離法、電化學(xué)法。單一方法均存在技術(shù)上的缺陷，并且由于該金屬硅化物boe刻蝕廢水中除了重金屬離子，還含有f-和nh 3-n，需考慮同步去除回用。其中，重點(diǎn)在于對(duì)工藝流程及工況的選擇。 5.目前，重金屬回收、脫氮、除氟都分別有各自的處理工藝，但是這些工藝單獨(dú)進(jìn)行會(huì)增加建設(shè)成本、需要額外添加多種化學(xué)藥劑、消耗能源，經(jīng)濟(jì)效益低，因此需要尋求一種更加簡(jiǎn)單、清潔和高效的回用技術(shù)以滿足廢水回用的需求。隨著國(guó)家和各省區(qū)污染綜合防治規(guī)劃和相關(guān)技術(shù)要求的實(shí)施，迫切需要一種能滿足排水水質(zhì)和節(jié)水回用更高要求的工藝系統(tǒng)，解決廢水回用效率低、回用水質(zhì)差、運(yùn)行成本高等問(wèn)題。 技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素： 6.發(fā)明目的：針對(duì)現(xiàn)有金屬硅化物boe刻蝕廢水在同步除氟脫氮的回用過(guò)程中建設(shè)成本高、需要額外添加多種化學(xué)藥劑、能耗高、回收率低、回收水質(zhì)差、運(yùn)行成本高問(wèn)題，提供了金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置及方法，對(duì)該股廢水進(jìn)行回收利用，回收效率高、去除效果好、便于操作，能經(jīng)濟(jì)穩(wěn)定地長(zhǎng)期運(yùn)行。 7.技術(shù)方案：為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為： 8.一種金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置，包括廢水收集池、高效集成反應(yīng)沉淀池、酸堿調(diào)節(jié)緩沖池、砂