本發(fā)明提供一種高溫碳化陶瓷基分子篩膜的制氧裝置及其使用方法，包括依次連通的氣源接入口、空氣壓縮機(jī)、C級(jí)過(guò)濾器、空氣存儲(chǔ)罐、3?5個(gè)高溫碳化陶瓷基分子篩吸附單元、真空泵、氧氣儲(chǔ)氣罐、氮?dú)鈨?chǔ)氣罐，氧氣儲(chǔ)氣罐末端設(shè)置有第一止閉閥，氮?dú)鈨?chǔ)氣罐末端設(shè)置有第二止閉閥；真空泵設(shè)置于高溫碳化陶瓷基分子篩吸附單元內(nèi)，高溫碳化陶瓷基分子篩吸附單元與氧氣儲(chǔ)氣罐通過(guò)氧氣分流管道連通，高溫碳化陶瓷基分子篩吸附單元與氮?dú)鈨?chǔ)氣罐通過(guò)氮?dú)夥至鞴艿肋B通。本發(fā)明提供的制氧裝置具有循環(huán)利用率好的氧離子導(dǎo)電碳化陶瓷基分子篩膜的吸附塔的分子篩，且于高溫真空下對(duì)氧離子進(jìn)行吸附和解吸附進(jìn)而高效分離氧氣和氮?dú)馓岣咧蒲跫兌取?