本發(fā)明涉及硅片研磨材料生產(chǎn)方法技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種用于大直徑硅片的研磨材料及其生產(chǎn)方法，包括以下質(zhì)量份數(shù)配比的原料：45％份硅酸鋯ZrSiO4、55％份氧化鋁Al2O3、少量催化劑和少量結(jié)合劑，首先將硅酸鋯、氧化鋁按照質(zhì)量比例導(dǎo)入混料倉(cāng)進(jìn)行混合均勻攪拌,攪拌均勻后導(dǎo)入回轉(zhuǎn)窯進(jìn)行燒結(jié)并添加催化劑和結(jié)合劑，燒結(jié)完成之后，將半成品料導(dǎo)入氣流磨粉碎機(jī)進(jìn)行顆粒粉碎。本發(fā)明所采用的生產(chǎn)方法與其他復(fù)合型研磨材料的區(qū)別在于使用兩種材料進(jìn)行煅燒，得到物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)相對(duì)接近的顆粒，兩種不同屬性的材料的比例可以保持不變,使得產(chǎn)品在加工和使用中的均勻性得到徹底的改變，材料的特性使得使用的效果大大增加。