權(quán)利要求書： 1.一種LED-MOCD制程廢氣全溫程變壓吸附提氫再利用的方法，其特征在于，包括如下步驟： (1)原料氣，即常壓或低壓的MOCD制備基于氮化鎵外延片生長(zhǎng)的發(fā)光二極管制程中的廢氣，其主要組成為氮?dú)?、氫氣、氨氣，以及及少量的金屬離子、顆粒、砷烷、甲烷、水、一氧化碳、二氧化碳、氧氣，以及其它雜質(zhì)組分，壓力為常壓或低壓，溫度為20～120℃； (2)預(yù)處理，原料氣經(jīng)鼓風(fēng)機(jī)送入由原料氣緩沖罐、除塵器、除顆粒過濾器、除油霧捕集器、冷卻器、氨吸收塔、氨水儲(chǔ)罐、冷熱量交換器組成的預(yù)處理單元，在常壓或小于0.3MPa壓力、20～120℃溫度的操作條件下，原料氣經(jīng)緩沖罐流出，先后經(jīng)過脫除塵埃、顆粒、油霧、其它可溶性于水的雜質(zhì)組分以及大部分氨氣，在0.2～0.3MPa壓力、20～120℃溫度的條件下，進(jìn)入下一個(gè)工序，即精脫氨工序； (3)精脫氨，將來自預(yù)處理工序的原料氣，經(jīng)壓縮至1.0～4.0MPa，進(jìn)入由水洗塔與變溫吸附塔組成的精脫氨工序，經(jīng)過水洗、變溫吸附進(jìn)一步脫除氨與其它水溶性或極性較強(qiáng)的微量雜質(zhì)后，形成低沸點(diǎn)混合組分的中間氣體，在1.0～4.0MPa壓力、20～120℃溫度的條件下，進(jìn)入下一個(gè)工序，即，脫氧工序；其中，變溫吸附塔再生載氣是來自后續(xù)工序，深度脫水的部分解吸氣，經(jīng)再生后形成的再生氣體，與來自預(yù)處理工序的原料氣混合，進(jìn)入精脫氨工序進(jìn)一步回收再生氣體中所含的有效組分氫氣； (4)脫氧，來自精脫氨工序的低沸點(diǎn)混合組分的中間氣體，在1.0～4.0MPa壓力、20～ 120℃溫度的條件下進(jìn)入負(fù)載有金屬活性組分的催化劑的脫氧器，進(jìn)行深度脫氧后，進(jìn)入下一個(gè)工序，即變壓吸附提氫工序； (5)變壓吸附提氫，來自經(jīng)脫氧后的低沸點(diǎn)混合組分的中間氣體，進(jìn)入至少由4塔組成的多塔變壓吸附提純氫氣工序，吸附塔的操作壓力為1.0～4.0MPa，操作溫度為20～120℃，至少一個(gè)吸附塔處于吸附步驟，其余吸附塔處于解吸再生步驟，所形成的非吸附相氣體為超高純氫氣，其純度為99.999～99.9999％(v/v)，進(jìn)入下一工序，即深度脫水工序；變壓吸附提氫工序的吸附劑采用活性氧化鋁、硅膠、活性炭、分子篩的一種或多種組合；解吸時(shí)，采用至多3次的緩均方式進(jìn)行均壓，并采用沖洗或沖洗加抽真空方式，所形成的解吸氣，一部分直接排放，符合國(guó)家