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電解處理裝置和電解處理方法

321   編輯:管理員   來源:東京毅力科創(chuàng)株式會社  
2024-03-12 16:31:22
權(quán)利要求書: 1.一種電解處理裝置,對被處理基板進行電解處理,其特征在于,具備:基板保持部,其具有間接陰極和絕緣性的保持基體,該保持基體用于保持所述被處理基板,該間接陰極設(shè)置在所述保持基體的內(nèi)部且經(jīng)由所述保持基體向與所述被處理基板相接的電解液施加負電壓;以及電解處理部,其以面對所述基板保持部的方式設(shè)置,直接地向所述被處理基板以及所述電解液施加電壓。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電解處理裝置,其特征在于,向所述間接陰極施加固定值的負電壓。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電解處理裝置,其特征在于,所述電解處理部具有:絕緣性的基體;以及間接陽極,其設(shè)置在所述基體的內(nèi)部且經(jīng)由所述基體向所述電解液施加正電壓。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電解處理裝置,其特征在于,向所述間接陽極施加固定值的正電壓。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電解處理裝置,其特征在于,所述電解處理部具有:直接電極,其面對所述被處理基板且與所述電解液直接接觸;以及接觸端子,其與所述被處理基板直接接觸。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電解處理裝置,其特征在于,向所述直接電極施加脈沖狀的正電壓,向所述接觸端子施加脈沖狀的負電壓。7.一種電解處理方法,使用電解處理裝置來對被處理基板進行電解處理,所述電解處理裝置具備:基板保持部,其具有間接陰極和絕緣性的保持基體,該保持基體用于保持所述被處理基板,該間接陰極設(shè)置在所述保持基體的內(nèi)部且經(jīng)由所述保持基體向與所述被處理基板相接的電解液施加負電壓;以及電解處理部,其以面對所述基板保持部的方式設(shè)置,直接地向所述被處理基板以及所述電解液施加電壓,所述電解處理方法的特征在于,包括以下工序:保持工序,利用所述基板保持部來保持所述被處理基板;盛放工序,向所述被處理基板盛放所述電解液;負電壓施加工序,向所述間接陰極施加負電壓;以及電解處理工序,利用所述電解處理部向所述被處理基板和所述電解液施加電壓。8.一種電解處理方法,使用電解處理裝置來對被處理基板進行電解處理,所述電解處理裝置具備:基板保持部,其具有間接陰極和絕緣性的保持基體,該保持基體用于保持所述被處理基板,該間接陰極設(shè)置在所述保持基體的內(nèi)部且經(jīng)由所述保持基體向與所述被處理基板相接的電解液施加負電壓;以及電解處理部,其以面對所述基板保持部的方式設(shè)置,所述電解處理部具有間接陽極和絕緣性的基體,該間接陽極設(shè)置在
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