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適用于小型化掃描電鏡的樣品真空轉(zhuǎn)移裝置

850   編輯:中冶有色網(wǎng)   來源:復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司  
2024-05-17 16:50:51
權(quán)利要求書: 1.一種適用于小型化掃描電鏡的樣品真空轉(zhuǎn)移裝置,其特征在于:由用于封鎖待測樣品的密封腔、用于對密封腔進行抽真空的閥門機構(gòu)、用于開啟或關(guān)閉密封腔的動力機構(gòu)和用于承載掃描電鏡樣品釘?shù)某休d托架(2)組成;所述密封腔包括一個由固定底板(10)和轉(zhuǎn)移裝置腔體(5)一體銑制的結(jié)構(gòu)整體,所述轉(zhuǎn)移裝置腔體(5)位于所述固定底板(10)的前側(cè)面,且所述轉(zhuǎn)移裝置腔體(5)的前部為敞口,所述轉(zhuǎn)移裝置腔體(5)的敞口邊緣的前側(cè)面上設(shè)置有一圈密封條(3),所述轉(zhuǎn)移裝置腔體(5)的敞口上設(shè)置有一塊可開合的密封蓋板(1),且當(dāng)所述密封蓋板(1)蓋緊在所述轉(zhuǎn)移裝置腔體(5)的敞口上時,所述密封蓋板(1)的后側(cè)面與所述密封條(3)緊密貼合;所述閥門機構(gòu)包括一個針閥(6),所述針閥(6)安裝在所述固定底板(10)的后側(cè)面,且所述針閥(6)的一端與穿過所述固定底板(10)后與所述轉(zhuǎn)移裝置腔體(5)連通;所述動力機構(gòu)包括用于控制所述密封蓋板(1)開合的傳動部分以及用于帶動所述傳動部分運動的驅(qū)動部分,所述驅(qū)動部分與所述固定底板(10)連接,所述傳動部分與所述密封蓋板(1)連接;所述承載托架(2)水平安裝在所述密封蓋板(1)后側(cè)面的上部,所述承載托架(2)上設(shè)置有用于承托小型掃描電鏡所用的半英寸釘式樣品臺的樣品釘放置孔(11),當(dāng)所述密封蓋板(1)打開時,所述承載托架(2)完全伸出所述轉(zhuǎn)移裝置腔體(5),當(dāng)所述密封蓋板(1)蓋合時,所述承載托架(2)完全位于所述轉(zhuǎn)移裝置腔體(5)內(nèi),且所述承載托架(2)的上表面與所述轉(zhuǎn)移裝置腔體(5)的內(nèi)壁頂部之間僅存在細微的間距。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于小型化掃描電鏡的樣品真空轉(zhuǎn)移裝置,其特征在于:所述固定底板(10)和所述轉(zhuǎn)移裝置腔體(5)采用鑄造鋁合金材料并一體銑制成一個結(jié)構(gòu)整體,且所述固定底板(10)和所述轉(zhuǎn)移裝置腔體(5)的壁厚均不小于4mm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于小型化掃描電鏡的樣品真空轉(zhuǎn)移裝置,其特征在于:所述密封條(3)為特氟龍材質(zhì)的O型密封圈。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于小型化掃描電鏡的樣品真空轉(zhuǎn)移裝置,其特征在于:所述針閥(6)為手動針閥或電動針閥,且所述針閥(6)與所述轉(zhuǎn)移裝置腔體(5)之間通過內(nèi)、外螺紋結(jié)構(gòu)實現(xiàn)連通,且位于所述固定底板(10)上的外螺紋結(jié)構(gòu)采用堆焊或螺紋
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