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可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺

595   編輯:中冶有色網(wǎng)   來源:江西省科學(xué)院應(yīng)用物理研究所  
2024-05-28 13:58:30
權(quán)利要求書: 1.一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺,包括大樣品臺和帶燕尾槽的底座,其特征在于,所述電鏡樣品臺還包括小樣品臺和轉(zhuǎn)柄;所述大樣品臺上面和下面分別設(shè)置有若干個(gè)圓孔和螺孔;小樣品臺通過其上的螺桿安裝在大樣品臺的螺孔中,小樣品臺螺桿的端部安裝固定在轉(zhuǎn)柄螺孔中;所述帶燕尾槽的底座安裝在大樣品臺下面,燕尾槽槽口朝下。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺,其特征在于,所述大樣品臺上開有九個(gè)圓孔,沿圓周方向均勻分布8個(gè),大樣品臺中心一個(gè)圓孔,每個(gè)圓孔的垂直方向的上部是圓孔,下部是螺孔,所述圓孔與螺孔的中心線重合。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺,其特征在于,所述小樣品臺上部為T形圓臺結(jié)構(gòu),下部為螺紋結(jié)構(gòu);下部螺紋與轉(zhuǎn)柄螺孔相配;所述大樣品臺共配置9個(gè)小樣品臺。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺,其特征在于,所述轉(zhuǎn)柄為圓柱形,長度方向的中心線開有螺孔,轉(zhuǎn)柄外圓制有滾紋,每小樣品臺配置一個(gè)轉(zhuǎn)柄。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺,其特征在于,所述大樣品臺下部安裝有帶燕尾槽的底座,底座避開螺孔位置;底座?蓋中心螺孔的位置處,開有直徑大于轉(zhuǎn)柄的圓孔;所述帶燕尾槽的底座通過螺栓與大樣品臺連接固定;大樣品臺底部的燕尾槽結(jié)構(gòu)與蔡司掃描電鏡的樣品臺連接機(jī)構(gòu)相配合。 說明書: 一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺,屬電鏡輔助設(shè)施技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)[0002] 掃描電子顯微鏡和X射線能譜儀已成為檢測物質(zhì)性能的重要手段。[0003] 我國目前已經(jīng)擁有相當(dāng)數(shù)量的掃描電鏡和能譜儀,廣泛用于金屬、陶瓷、高分子、礦產(chǎn)和食品等材料的顯微形貌觀察、相組織與晶體結(jié)構(gòu)分析、微區(qū)成分分析等,是不可替代的設(shè)備。其工作原理是掃描電鏡電子槍發(fā)射出電子束,經(jīng)加速和匯聚后,形成高能電子束,轟擊在樣品表面,產(chǎn)生一系列光電信號,不同信號探測器對其進(jìn)行收集,獲得顯微圖像和能譜。要獲得良好的圖像質(zhì)量和準(zhǔn)確的能譜數(shù)據(jù),需要調(diào)整合適的加速電壓,電子束電流和工作距離等參數(shù)。一般情況下,工作距離在8mm?10mm左右可以獲得良好的圖像質(zhì)量和準(zhǔn)確的能譜數(shù)據(jù)。[0004] 目前商業(yè)化的掃描電鏡樣品臺結(jié)構(gòu)簡
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“可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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