本發(fā)明屬于用物理冶金技術(shù)提純多晶硅的技術(shù)領(lǐng)域。一種電子束及渣濾熔煉提純多晶硅的方法,在熔煉坩堝中加熱熔化造渣劑形成造渣劑熔液,并保持其液態(tài),同時(shí)通過(guò)加料裝置向水冷銅坩堝中連續(xù)加入高磷、高硼和高金屬的多晶硅料,硅料在電子束轟擊下熔化成硅熔液,并熔煉去除雜質(zhì)磷;除磷后的低磷硅熔液導(dǎo)流進(jìn)入到造渣劑熔液之中,在熔入的過(guò)程中,硅熔液中的雜質(zhì)硼與造渣劑反應(yīng)去除雜質(zhì)硼,加滿料后將熔煉坩堝中的熔液加熱保持液態(tài)熔煉3-10分鐘,定向凝固,切去硅錠頂部廢渣及金屬含量較高的硅塊即可。本發(fā)明綜合利用電子束熔煉除磷、渣濾熔煉除硼及定向凝固除金屬的技術(shù)去除多晶硅中的磷、硼和金屬雜質(zhì),提純效果好,生產(chǎn)效率高,適合批量生產(chǎn)。