激光誘導(dǎo)等離子體光譜分析設(shè)備，其包括激光器、激光導(dǎo)入系統(tǒng)、待測(cè)樣品室、光譜導(dǎo)出及收集系統(tǒng)、分光系統(tǒng)和光譜接收系統(tǒng)，其中激光器和光譜接收系統(tǒng)由同一脈沖發(fā)生器發(fā)送指令控制。激光器發(fā)射激光通過(guò)導(dǎo)入系統(tǒng)聚焦至樣品處，使樣品表面形成等離子體、生成激光誘導(dǎo)光譜并通過(guò)導(dǎo)出系統(tǒng)將產(chǎn)生熒光導(dǎo)出至光譜收集系統(tǒng)，通過(guò)對(duì)收集光譜的計(jì)算、處理和分析對(duì)樣品中所含元素進(jìn)行定性和定量檢驗(yàn)，其中，待測(cè)樣品室為一套模擬真空冶煉爐的真空實(shí)驗(yàn)腔，包括真空系統(tǒng)、真空度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、電感熔煉系統(tǒng)，具備溫度、真空度的同步監(jiān)測(cè)采集功能，能夠?qū)崿F(xiàn)1800℃的升溫加熱，具有良好的真空維持特性，所述真空系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)從0.1到10帕斯卡的真空度連續(xù)變化范圍。