本發(fā)明涉及一種去除工業(yè)硅中硼、磷及其它雜質(zhì)的綜合利用方法,本發(fā)明涉及采用濕法冶金、氧化造渣和電子束熔煉去除多晶硅中硼、磷及其它雜質(zhì)。包括:用濕法冶金酸洗方式去除硅中的雜質(zhì)獲得低雜質(zhì)多晶硅,再用中頻感應加熱對低雜質(zhì)多晶硅進行氧化造渣熔煉,通過造渣劑的氧化方式去除多晶硅中的雜質(zhì)硼,從而獲得低硼多晶硅,再次用電子束熔煉去除低硼多晶硅中的磷雜質(zhì)獲得低金屬低硼低磷多晶硅。其特點是:低投入、低成本、環(huán)境污染小、工藝簡單、回收率高,形成了一整套適合于工業(yè)化生產(chǎn)太陽能級多晶硅中間產(chǎn)品的可實施工藝。