本發(fā)明提供的高純鈷靶材的制備方法，包括：將鈷粉裝入模具；冷壓成型；真空熱壓燒結(jié)。與傳統(tǒng)的通過(guò)高真空電子束熔煉爐獲得高純鈷錠、然后對(duì)鈷錠反復(fù)進(jìn)行塑性變形和退火制得鈷靶坯的工藝相比，本發(fā)明通過(guò)粉末冶金的真空熱壓燒結(jié)技術(shù)直接由粉末制得鈷靶坯，獲得致密且分布均勻的可用于半導(dǎo)體靶材制造用的鈷靶坯，克服了鈷靶材由于質(zhì)地堅(jiān)硬易碎，而在塑性變形加工過(guò)程中容易產(chǎn)生裂紋而導(dǎo)致報(bào)廢率高的問(wèn)題。