本發(fā)明公開(kāi)了一種高致密度鉬鈮合金靶材及其制備工藝，首先按重量百分比計(jì)量稱(chēng)取以下組分：鈮粉5%~15%，氫化鋯0.1%~0.8%，余量為鉬粉，研磨、混勻后采用冷等靜壓壓制成型，再進(jìn)行真空燒結(jié)，或者在氫氣氣氛中預(yù)燒結(jié)后再進(jìn)行真空燒結(jié)，最后機(jī)加工，即得。本發(fā)明利用氫化鋯的活化作用，采用普通的粉末冶金工藝直接制備高致密度的鉬鈮合金濺射靶材，工藝簡(jiǎn)單，成本低；同時(shí)避免了氣孔造成的微粒飛濺，保證了鍍膜質(zhì)量；克服了熔煉鑄造工藝組織粗大、成分不均，熱壓、熱等靜壓工藝的滲碳、成本高，鍛造或軋制加工流程長(zhǎng)、成品率低的缺點(diǎn)。