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石墨管取尾料式定向凝固提純多晶硅的方法及設(shè)備

897   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:33:12
本發(fā)明屬于冶金提純技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種取尾料式定向凝固提純多晶硅的方法及設(shè)備。該方法是在惰性氣體中,將硅料熔化進(jìn)行定向凝固;待凝固完成85~90%時(shí),停止拉錠,將石墨管伸入剩余硅熔體中,向真空腔室通入惰性氣體,使剩余硅熔體在壓力差作用下進(jìn)入石墨管,繼續(xù)拉錠,待坩堝上端離開加熱區(qū)后,將水冷坩堝伸至石墨管正下方,停止通入惰性氣體,對真空腔室抽真空,石墨管中的剩余硅熔體下落至水冷坩堝中冷卻凝固;切斷電源,停止加熱,坩堝中凝固得到的鑄錠為高純硅鑄錠。本發(fā)明防止了雜質(zhì)反擴(kuò)散,減少了工藝,提高了鑄錠的出成率,該發(fā)明設(shè)備改造安裝方便,操作簡單,能有效去除鑄錠尾部富集的雜質(zhì),節(jié)約了生產(chǎn)周期和成本,適用于工業(yè)化生產(chǎn)。
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