本發(fā)明涉及旋轉(zhuǎn)陽極靶技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種減小旋轉(zhuǎn)陽極靶軌道層和基體層應(yīng)力的復(fù)合層結(jié)構(gòu)及其制備方法、靶盤。該復(fù)合層結(jié)構(gòu)包括基體層以及軌道層；基體層上表面覆蓋有過渡層，且過渡層上表面覆蓋有軌道層；過渡層的熱膨脹系數(shù)介于基體層的熱膨脹系數(shù)和軌道層的熱膨脹系數(shù)之間；按質(zhì)量百分比，過渡層包括以下組分：20％～70％W,10％～50％Mo,5％～20％T,5％～20％Z；T為Re、Ta中的一種或兩種組合；Z為Nb、Hf、Ti中的一種或多種組合。本發(fā)明可有效減少軌道層龜裂和開裂等現(xiàn)象的發(fā)生，使得復(fù)合層結(jié)構(gòu)的室溫斷裂韌性增大，減少帶有所述復(fù)合層結(jié)構(gòu)的靶盤的裂紋的產(chǎn)生，從而提升靶盤使用壽命，以使靶盤質(zhì)量提升。