本發(fā)明公開了一種大尺寸釕基合金濺射靶材及其制備方法，釕基合金靶材包括Al,Co，Cr等元素中的一種或幾種，其余為Ru，釕基合金靶材為圓餅狀，其直徑不小于100mm,致密度不低于99.5％,且其中心區(qū)域與邊緣區(qū)域的致密度差不超過0.3％，且Ru與其他合金元素形成的第二相均勻的分布在Ru基體相中。所述的釕基合金濺射靶材的制備方法，包括通過氣體霧化法制備熔點(diǎn)偏低的脆性相釕基合金粉末，再通過氣流磨處理該脆性相獲得了細(xì)小均勻的合金粉末，最后經(jīng)粉末燒結(jié)制備出直徑尺寸在100mm以上的釕基合金靶材，本發(fā)明獲得的合金靶材雜質(zhì)含量低，致密度高且均勻，成份分布均勻，晶粒細(xì)小均勻，使用該靶材濺射成膜的厚度均勻性，性能穩(wěn)定以及減少了濺射過程的異常放電現(xiàn)象等。