本發(fā)明涉及一種涉及多晶硅的提純,尤其是一種電泳輔助的太陽能級多晶硅提純方法。其步驟為:將硅塊放置于石墨坩堝中,開啟中頻爐感應加熱至工業(yè)硅完全熔化;保持溫度,加入造渣劑進行造渣除硼和金屬雜質(zhì);造渣完成后,開啟真空熔煉爐進行真空熔煉除磷和金屬雜質(zhì);向硅液中施加直流電壓,使金屬雜質(zhì)富集;最后進行定向凝固,得到6N級太陽能級多晶硅。本發(fā)明采用了造渣、真空熔煉和電泳相結(jié)合的方法進行除雜,成本低、環(huán)境友好且提純效果明顯。
聲明:
“電泳輔助的太陽能級多晶硅提純方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)